QYH-8-D雙面探針臺(tái)

QYH-8-D雙面探針臺(tái)

QYH-8-D雙面點(diǎn)針探針臺(tái)可用于晶圓和PCB板測(cè)試，用于需要正面和背面同時(shí)扎針的使用場(chǎng)景，該探針臺(tái)具有優(yōu)良的機(jī)械系統(tǒng)，穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，符合人體工程學(xué)，以及多項(xiàng)升級(jí)功能?？蓮V泛應(yīng)用于集成電路、Wafer 、 LED、LCD、太陽(yáng)能電池等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
特點(diǎn)/應(yīng)用

 

◆ 用于需要正面和背面同時(shí)扎針的使用場(chǎng)景；

 

◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

 

◆ 大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無(wú)回程差設(shè)計(jì)

 

◆ 針座平臺(tái)快速、微調(diào)升降功能

 

◆ 可搭配多種類型顯微鏡；

 

◆ 集成電路、Wafer ， LED、LCD、太陽(yáng)能電池等行業(yè)測(cè)試；

 

◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無(wú)縫升級(jí)

 

◆ 探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。

主要參數(shù)
雙面針臺(tái)主要參數(shù)
型號(hào)：QYH-8-D
組件項(xiàng)目特性和參數(shù)
臺(tái)體Chuck尺寸8英寸
快速抽拉行程：120mm
水平旋轉(zhuǎn)卡盤可以360°旋轉(zhuǎn)，細(xì)調(diào)精度不大于0.1°,帶有鎖定旋鈕
XY移動(dòng)行程8英寸*8英寸
XY移動(dòng)精度10um/lum可選
樣品固定樣品夾定，尺寸可調(diào)；
雙面點(diǎn)針平臺(tái)氣動(dòng)升降平臺(tái)升起為雙平臺(tái)，落下可做單平臺(tái)使用
平臺(tái)針座數(shù)量單平臺(tái)最多放置8個(gè)CB-200針座
卡盤結(jié)構(gòu)普通/高溫/帶背電極等結(jié)構(gòu)卡可選擇
背電極測(cè)試樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
溫控系統(tǒng)溫度范圍室溫~300℃(400℃,500℃可選)
溫控精度0.1℃
溫控穩(wěn)定性士1℃
溫控傳感器100 Ω鉑電阻傳感器
正面光學(xué)系統(tǒng)CCD200W/500W/1200W像素可選(正反面)
顯微鏡類型單筒/體視/金相顯微鏡可選
放大倍率16X-100X/20X-2000X
顯微鏡調(diào)節(jié)水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)X-Y移動(dòng)2*2英寸，Z軸行程50.8mm
光源外置LED環(huán)形光源/同軸光源
背面光學(xué)系統(tǒng)顯微鏡類型L型單筒顯微鏡
連續(xù)變倍比6.3:1
放大倍率范圍0.75-5X
放大倍率315X(計(jì)算公式：變焦*CCD*顯示器)
顯微鏡調(diào)節(jié)微調(diào)行程：15*15mm;粗調(diào)行程100mm
光源同軸光源
探針座X-Y-Z移動(dòng)行程12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
吸附方式磁力吸附/真空吸附
DC調(diào)節(jié)點(diǎn)測(cè)角度0-30°
RF調(diào)節(jié)角度多點(diǎn)探頭調(diào)水平旋鈕，可以+-10°調(diào)節(jié)，精度0.1度
探針夾具線纜同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度10pA/100fA/10fA
固定探針彈簧固定/管狀固定
接頭類型BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
探針DC針尖直徑0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探針頻率40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
材質(zhì)鎢鋼/鈹銅/鍍鎳
外形720mm長(zhǎng)*725mm寬*710mm高
重量約150千克
可選附件屏蔽箱                       防震桌
高壓測(cè)試配件                 探針卡夾具
激光系統(tǒng)                     鍍金卡盤
根據(jù)客戶要求定制